容器清洗器

产品型号:HNM-300

产品品牌:藤宫(HUGLE)

市场价格:¥ 0

出产产地:日本

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品牌简介:HUGLE株式会社成立于1969年,由藤宫和三郎先生创立,一直为半导体行业/电子EMS/汽车电子提供静电消除做出具大贡献的HUGLE株式会社;承认品质为生存专业化制造企业;为行业提供不同环境使用的静电产品.

  • 基本信息
  • 相关产品

    HUGLE HNM-300

    FOUP / FOSB 洗浄システム HNM-300

    FOUPFOSBの洗浄により半導体製造の高生産性を維持向上させるため、各種FOUP / FOSB1台の装置で洗浄乾燥処理可能なHNM-300を開発致しました。
    本装置1台で、いかなるプロセスキットの変更や段取り換えも不要。このようなFOUP / FOSB洗浄システムは他社に類を見ません。

    製品概要

    スループット倍増(当社旧モデル比)
    省フットプリント(別置きサブユニットなし)
    ノズル洗浄方式による超精密洗浄
    信頼と実績の『ホットエアーナイフ方式』と『高速スピン方式』による完全乾燥
    ファンフィルタユニット及びイオナイザ搭載による除塵除電対策
    容器分離合体用作業スペース確保(別途クリーンブースの手配不要)
    バクテリア発生予防のための自動パージ機能
    タッチパネルによる高操作性
    豊富なインターロック完備により高安全性を確保

    仕様

    寸法

    1300 (W) ×1406 (D) ×2000 (H) mm

    重量

    800kg

    電源

    3φ, 200V±10V

    純水

    流量:10LPM

    圧力:0.3MPa

    CDA

    流量:2500LPM

    圧力:0.75MPa

    排気

    3000LPM

    排水

    10LPM

    自動FOUPオープナー及び純水用フィルターはオプションで用意しています。