容器清洗器

产品型号:SORA(UPC-12500)

产品品牌:藤宫(HUGLE)

市场价格:¥ 0

出产产地:日本

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品牌简介:HUGLE株式会社成立于1969年,由藤宫和三郎先生创立,一直为半导体行业/电子EMS/汽车电子提供静电消除做出具大贡献的HUGLE株式会社;承认品质为生存专业化制造企业;为行业提供不同环境使用的静电产品.

  • 基本信息
  • 相关产品

    HUGLE SORA(UPC-12500)

    全自動FOUP洗浄システム SORA(UPC-12500)

     

    300mmウェハ用FOUPの自動洗浄装置としては、世界トップクラスの実績と信頼を得てきたUPC-12100をモデルチェンジ。現代の半導体製造には不可欠な高品質高スループット省エネをコンセプトに改良されました。SEMI規格はもちろん、ULCE規格にも準拠しております。自動搬送システム(AMHS)対応、通信プロトコルはGEM300に対応しているため、オンラインでの管理にも相応しい装置として実現しています。
    世界最高水準のFOUP洗浄装置、是非、ご検討下さい。

    製品概要

    高スループットを実現
    メンテナンス性の向上
    全自動FOUP開閉により、クロスコンタミネーションの防止
    ● 2
    流体ジェット洗浄方式による超精密洗浄
    ● FOUP
    ドアの高速回転によるスピード乾燥
    省フットプリント設計

    仕様

    寸法

     2,200(W) × 3,250(L) × 2,500(H) mm

     

    重量

     3,800 kg

     

    電源

     3φ, 200V±10V, 100A

     

    純水

     15 LPM

    1/2"

    CDA-1

     4,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa

    1"

    CDA-2

     1,000 LPM, 0.7 ± 0.05 MPa

    1/2"

    バキューム

     2 LPM, -45 -100 kPa

    1/4"

    排水-1

     15 LPM

    40A

    排水-2

     15 LPM

    40A

    排気-1

     2,000 LPM

    20A

    排気-2

     2,500 LPM (2系統)

    80A (2系統)

    ドレイン

     

    Rc 1/2" (2系統