容器清洗器

产品型号:UPC-8300

产品品牌:藤宫(HUGLE)

市场价格:¥ 0

出产产地:日本

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品牌简介:HUGLE株式会社成立于1969年,由藤宫和三郎先生创立,一直为半导体行业/电子EMS/汽车电子提供静电消除做出具大贡献的HUGLE株式会社;承认品质为生存专业化制造企业;为行业提供不同环境使用的静电产品.

  • 基本信息
  • 相关产品

    HUGLE UPC-8300

    全自動 SMIF POD 洗浄システム UPC-8300

    半導体プロセスは、限りない微細化、新材料の導入、ウェハの大口径化の途上に
    あります。膨大な投資の効率を上げるため、ミニエンバイロメント (局所清浄化)
    本格的に導入されつつあります。
    8
    インチのラインでは、SMIF POD が導入され、その清浄度管理が、重要な課題となっています。
    ヒューグルエレクトロニクスは、各種ウェハ用容器洗浄装置の長い経験と豊富な実績を
    活かし、業界で唯一の全自動搬送、ベース開閉機能付き、SMIF POD 洗浄システムを
    開発し、すでに多くの量産ラインで稼動しています。

    製品概要

    最大 10 個の POD を装置内にセット可能
    液晶タッチパネルによる数種類の任意設定時間の登録実行
    自動搬送による POD のシェル部とベース部の自動分離と自動セット
    ダブルチャンバーによる、大スループットの確保
    実績豊富なジェット純水洗浄方式
    ●POD
    毎の 10 通りのレシピ設定が可能

    仕様

    外形寸法

    2000 (W) ×2000 (D) ×2200 (H) mm

    重量

    1800 (本体) 300 (タンクユニット / 満水時)

    電気

    200 V 3 相 75 A (本体)

    200 V 3 相 30 A (タンクユニット)

    純水

    30 LPM (最大使用時)

    水圧 3 kgf / cm2

    配管径 1 / 2" 日本ピラー スーパー 300

    CDA 1 (乾燥用)

    圧力

    7 kgf / cm2

    流量

    2.4 m3 / min

    配管径

    1" OD Swagelok

    CDA 2 (パージ用)

    圧力

    7 kgf / cm2

    流量

    0.3 m3 / min

    配管径

    1 / 2" OD Swagelok

    CDA 3 (純水加圧用)

    圧力

    7 kgf / cm2

    流量

    0.35 m3 / min

    配管径

    3 / 8" OD Swagelok

    排水1

    流量

    15 LPM

    配管径

    JIS 40 A フランジ (5 )

    排水2

    流量

    15 LPM

    配管径

    JIS 40 A フランジ (5 )

    排気

    圧力

    100 mmAq

    流量

    2.8 m3 / min

    配管径

    JIS 125 A フランジ (10 )

    バキューム

    Pressure

    - 41 kPa

    流量

    1 LPM

    配管径

    1 / 4" OD Swagelok